關(guān)于OTFC系列
OTFC-1550
OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
- 特征
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真空室尺寸：Φ600-1800mm
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60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控
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使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
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搭載雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
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利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
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工件架可選擇鐘罩式或行星式
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排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
- 規(guī)格
- 設(shè)備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架 φ 790mm
- 工件架轉(zhuǎn)速 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀波長范圍：350nm to1100nm反射式/透射式可選
- 水晶式膜厚計 XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
- 蒸發(fā)源 電子槍2套
- 離子源 10cm RF 離子源
- 排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+1個擴(kuò)散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
- 性能
- 達(dá)到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排氣時間 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度 最高：350℃
- 工作條件
- 設(shè)備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 180升/分以上
- 空氣壓力 0.5MPa 以上
- 重量 約5400kg
