HOM1-1

高精度光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

特征

高NA值光學(xué)系統(tǒng)和低噪音電路設(shè)計，實現(xiàn)低噪音，相對值達到 +0.01%

應(yīng)用高分解能分光光學(xué)系，波長分解能達到0.08nm(1550nm)

使用鹵素?zé)艄庠矗褂貌ㄩL范圍1100nm-1700nm

運用先進的成膜計算控制技術(shù),光透過率的極值監(jiān)控能力可達+0.01%

規(guī)格

型號 HOM1-1

波長帶域 1100nm - 1700nm

波長分解能 0.08nm

光亮設(shè)定分解能 0.001%

光源 鹵素?zé)?/span>

電源 AC100V±10%, 50/60Hz

消費電力 600VA